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品牌宁康/奥林巴斯显微镜/激光共聚焦扫描显微镜OLS3000/4000

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详细说明

    激光扫描共焦显微镜OLS300可进行如下检测:

1)测量

2D测量:*佳测量范围1.5mm~1μm;不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。

3D测量:*佳测量范围1mm~0.5μm;体积、容积、表面积等3D测量;可测量透明膜厚度。

粗糙度分析:*适合于Rz0.1μm程度的粗糙度分析;不公是线粗糙度,面粗糙度也能检测。

2)3D形貌

能获得3D色彩等多种多样的信息 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。

利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。

3)高分辨率观察

显示器倍率为14,400倍。接近SEM的放大率。

接近SEM的高对比度的解像度。

可以分辨常规显微镜所不能的0.12μm的LINE和SPACE 利用微分干涉进一步提高分辨率。

实时观察。

*大观察范围是2,560X2,560μm

 
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